跳到主要内容
纳米技术工具

纳米技术工具

实验室中的电子显微镜

纳米技术仪器应用,如电子显微镜,对灵敏度、分辨率、样品吞吐量和测量重复性有非常严格的性能要求。在半导体和生命科学应用中,这些需求是由分析越来越小的样品的需求驱动的。在半导体行业,更高的灵敏度对于更好的样品分辨率至关重要。制造集成电路涉及许多复杂的步骤,需要在工艺室的真空条件下使用高纯气体。半导体应用,如微光刻、低压化学气相沉积、离子束蚀刻、溅射、离子束注入和分子束外延都需要高真空维护。输送气体的配电系统必须严密密封,以防止排放和保持气体纯度。氦检漏是用来检测工艺气体组分的。